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大陽日酸

大陽日酸は排ガス処理装置をはじめ、様々な設備を自社開発、製造することが可能です。会社や排ガス処理装置の特徴、スペックなどについて紹介します。

大陽日酸の特徴

産業ガスをメインとしたガスのプロフェッショナル

大陽日酸は、創業110年余りの長い歴史で培われた強固な事業基盤と技術力で、産業ガスを中心とした事業を幅広く手掛けています。酸素や窒素、アルゴンなどの産業ガス関連事業、溶接・切断用ガス、ガス利用技術・機器など、ガスに関する様々なニーズに対応可能。
メディカル関連事業やバイオ機器など、取扱い分野が多岐にわたることが大きな特徴です。エレクトロニクスや半導体関連機器にも携わっており、その一環として、排ガス処理装置の開発、製造、販売を行っています。

設備のほとんどは自社開発・製造、アフターフォローも充実

大陽日酸では、取り扱う電子材料ガス供給設備の多くを自社で開発・製造しています。国内に2つの研究所と複数の自社工場を保有し、製品の基礎研究などを行っています。
また、全国各地に事業所などの拠点を数多く展開しており、運用開始後のアフターフォローについても、迅速に対応することが可能。排ガス処理装置(除害装置)の開発、設計、製作においても多くの導入例があり、使用条件に適した設備を提案することができます。

排ガス処理は、除害すべき物質や対応方法によって、適した装置が変わってきます。そんな時に会社や排ガス処理装置をどう選べばいいのか、具体例と共に解説します。

排ガス処理装置の選び方を知る

大陽日酸の排ガス処理装置の種類

大陽日酸の主な排ガス処理装置

Corona Burner

大陽日酸製品画像1
引用元:大陽日酸公式HP(https://www.tn-denzaiequipment.jp/products/abatement-scrubber/combustion-type/air.html)

Corona Burnerは、空冷燃焼式バーナーを採用した排ガス処理装置です。PVや液晶工場などで排出される可燃性、毒性ガス及びPFCなどの大流量難分解性ガスを副生成物を抑制しながら高効率で燃焼分解することができます。

※シリーズ1000

CooL Burner

大陽日酸製品画像2
引用元:大陽日酸公式HP(https://www.tn-denzaiequipment.jp/products/abatement-scrubber/combustion-type/water.html)

水冷燃焼式バーナーを採用しているため、排ガスを水冷することにより排気風量を抑制することができます。内臓スクラバータイプであれば、HFなどの副生成物の処理も可能。排気風量を抑制することで、後段設備、配管コストを低減することができます。

※ CooL Burner標準仕様(1000シリーズ)、6000シリーズ

乾式除害装置 VEGA-JGS

大陽日酸製品画像3
引用元:大陽日酸公式HP(https://www.tn-denzaiequipment.jp/products/abatement-scrubber/vega-jgs.html)

乾式除害装置 VEGA-JGSは、処理対象ガスに適した乾式除害剤を組み合わせることにより確実に排ガス処理を行うことができます。研究用の小規模なものから工場用大型装置まで豊富なラインナップがあり、排水等の設備も不要です。

※VEGA-JGS 20型

NF3用JNFシリーズ

大陽日酸製品画像4
引用元:大陽日酸公式HP(https://www.tn-denzaiequipment.jp/products/abatement-scrubber/jnf.html)

電気ヒーター加熱を併用した乾式排ガス処理装置であり、プラズマCVD装置から廃棄される危険性の高いNF3ガスを無害化することができます。シンプルなドライプロセスであるため、排水等の設備を必要としません。

※シリーズVGNF-700ET

大陽日酸の会社情報

社名 大陽日酸株式会社
所在地 東京都品川区小山1-3-26