排ガス処理装置は各規則や法律により、作業現場環境の安全性確保および装置性能を確保するため、定期的な自主検査が義務付けられています。
排ガス処理装置は「特定化学物質障害予防規則」（特化則）に記載されている「定期自主検査を行うべき機械等」に該当するため、規則に沿った適切な自主検査が必要です。
特化則第二十九条では、定期自主検査を行うべき機械として「局所排気装置」「プッシュプル型換気装置」「除じん装置」「排ガス処理装置」「廃液処理装置」を定期自主検査対象機器として挙げています。
特化則は「労働安全衛生法」「労働安全衛生法施行令」の規定に基づき定められた規則です。事業工程で有害な化学物質を排出する事業者は、特化則に沿った設備の設置や作業工程を順守し、現場作業員をはじめとする人の体内に有害な化学物質を取り込むことがないよう配慮しなくてはなりません。
排ガス処理装置は特化則第三十条おいて「1年以内ごとに1回」の定期自主検査が義務付けられています。点検により異常が認められた際は、直ちに補修または他の対策を講じることも第三十五条に定められているので、毎年計画的に実施できるよう準備しておくことが望ましいです。
特化則第三十条では、定期自主検査すべき項目について以下のように挙げています。
（排ガス処理装置部分のみ抜粋）
また、特化則第三十一条では「特定化学設備又はその付属設備」についても「2年以内ごとに1回」の定期自主検査を定めています。
（特定化学設備又は附属設備）
（配管）
排ガス処理装置等の定期自主検査記録について、特化則第三十二条では3年間の保存義務を定めています。
記録保存するべき定期自主検査の項目は、特化則第三十二条で次のように定められています。