荏原製作所

コンパクト設計で低コスト、場所を選ばない排ガス処理装置を手掛けている荏原製作所。会社の特徴や排ガス処理装置の概要やスペックなどについて紹介します。

荏原製作所の特徴

廃棄物資源ソリューションプロバイダを目指す

荏原製作所は、東京都大田区に本社を構え、インフラや産業用装置、設備全般を設計・製造する一部上場企業です。コンプレッサ・タービン事業を展開するエリオット社の親会社として、風水力事業、環境プラント事業、精密・電子事業などを主要事業としています。
首都高速道路のトンネルや中央排水機場をはじめとして、ポンプやタービン、送風機などの納入実績が豊富。環境プラント事業では、持続可能な社会の実現に貢献する廃棄物資源循環ソリューションプロバイダを目指しています。

使いやすいコンパクト設計で、サポート体制も充実

荏原製作所では、可燃性ガスやヒ素などの毒性が強い物質を含むガスなどを処理・無毒化する除外装置の開発、製造、販売を行っています。発生源の近くで使用するため、大規模工場以外にも研究所や研究室などの実験用途でも使いやすいことが特徴。
使用条件に応じて適した装置を提案するとともに、世界8か国50か所以上にサービス拠点を構えて、ユーザーに密着したサポート体制を整備しています。（2021年7月時点）

排ガス処理は、除害すべき物質や対応方法によって、適した装置が変わってきます。そんな時に会社や排ガス処理装置をどう選べばいいのか、具体例と共に解説します。

排ガス処理装置の選び方を知る

荏原製作所の排ガス処理装置の種類

• 燃焼式排ガス処理装置
• 乾式排ガス処理装置
• 触媒式排ガス処理装置

荏原製作所の主な排ガス処理装置

TND型

引用元：荏原製作所公式HP（https://www.ebara.co.jp/products/details/TND.html）

TND型（燃焼式＋湿式）は、独自の燃焼方式を採用することで、低NOx, 低CO排出を実現。様々な腐食・副生成物対策により高いンテナンスインターバルを実現できるとともに、低ランニングコスト方式により、コストを抑えて使用することが可能です。

• 処理方式：燃焼式＋湿式
• 最大流入ガス許容量（L/min）：200(1ポートあたり）／400(1装置あたり）
• 燃料：都市ガス／プロパンガス選択
• 寸法（W × D× H mm）：1,200 × 650× 1,980
• 処理可能ガス例：
  プロセス(デポ)ガス（SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2 、PH3、Si3H8など）
  クリーニングガス全般（NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 など）
  エッチングガス全般（HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 など）

※TND-Single A1-A4/ TND-Single P1~P4

GT型

引用元：荏原製作所公式HP（https://www.ebara.co.jp/products/details/GT.html）

GT型（乾式）は、TLV値以下の高効率処理が可能な乾式排ガス処理装置。処理対象に応じて吸着剤を選択することができ、幅広いアプリケーションにも対応可能です。燃料・排水処理が不要であるため、実験室などでも使用できます。

• 処理方式：乾式
• 処理可能ガス：HBr、Cl2、BCl3、F2、SiF4、HF、COF2、C5F8、C4F6 など
• 最大流入ガス許容量（L/min）：100
• 寸法Single（W × D× H mm）：600x600x2,000
• Dual（W × D× H mm）：900x600x2,000

※GTE-3-0

GCR型

引用元：荏原製作所公式HP（https://www.ebara.co.jp/products/details/GCR.html）

GCR型（触媒式＋湿式）は、PFCsガスを低ランニングコストで高効率分解除去できる触媒式排ガス処理装置です。触媒処理後にHFガスの水処理を行うため、燃料不要。CO及び酸性ガス処理用反応槽、PFC処理用反応槽（オプション）の2種類の処理方式から選択することができます。

• 処理方式：触媒式＋湿式
• 最大流入ガス許容量（L/min）：120
• 反応槽交換検知：PFC検知器
• 寸法（W × D× H mm）：1,200×600×1,800
• 処理可能ガス：CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3、HF、F2、SiF4、CO、COF2、N2Oなど

※GCR120

G6-E型

引用元：荏原製作所公式HP（https://www.ebara.co.jp/products/details/G6E.html）

G6-E型（燃焼式＋湿式）は、エピタキシャル成長装置等に使用される大流量水素及び塩素を含んだ排ガスの処理に適した燃焼式排ガス処理装置。コンパクト設計で最大200L/minの水素処理が可能であり、水素ガス、塩素ガスの同時処理にも対応可能です。

• 処理方式：燃焼式＋湿式
• 最大流入ガス許容量（L/min）：400
• 燃料：都市ガス
• 寸法（W × D× H mm）：1,200×650×1,900mm
• 処理可能ガス例：
  プロセス(デポ)ガス（H2 、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、など）
  クリーニングガス全般（NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 など）
  エッチングガス全般（HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 など）

※G6-E A1~A4

荏原製作所の会社情報

社名	株式会社 荏原製作所
所在地	東京都大田区羽田旭町11-1